Дифрактометр X'Pert³
Універсальний дифрактометр XRD для досліджень і розробок
Довга і успішна історія дифрактометрів для дослідження матеріалів (MRD) Malvern Panalytical продовжується новим поколінням - X'Pert³ MRD і X'Pert³ MRD XL. Покращена продуктивність і надійність нової платформи додали більше аналітичних можливостей і потужності для досліджень розсіювання рентгенівських променів в..:
- сучасному матеріалознавстві
- наукова та промислова технологія тонких плівок
- метрологічні характеристики в розробці напівпровідникових процесів
Обидві системи мають однаковий широкий спектр застосувань з повним картуванням пластин до 100 мм (X'Pert³ MRD) або 200 мм (X'Pert³ MRD XL).
Переваги
Гнучкість системи, орієнтована на майбутнє
Дифрактометри X'Pert³ MRD пропонують передові та інноваційні рішення для рентгенівської дифракції від досліджень до розробки процесів і управління ними. Технології, що використовуються, дозволяють легко модернізувати всі системи до всіх існуючих опцій і нових розробок в області апаратного і програмного забезпечення в майбутньому.
X'Pert³ MRD
Стандартна версія для досліджень і розробок для роботи з тонкоплівковими зразками, підкладками (повне мапування до 100 мм) і твердими матеріалами. Можливість аналізу з високою роздільною здатністю покращується завдяки видатній точності нового гоніометра з високою роздільною здатністю, що використовує енкодери Heidenhain.X'Pert³ MRD
Стандартна версія для досліджень і розробок для роботи з тонкоплівковими зразками, підкладками (повне мапування до 100 мм) і твердими матеріалами. Можливість аналізу з високою роздільною здатністю покращується завдяки видатній точності нового гоніометра з високою роздільною здатністю, що використовує енкодери Heidenhain.
X'Pert³ MRD XL
X'Pert³ MRD XL відповідає всім вимогам до рентгеноструктурного аналізу з високою роздільною здатністю в галузі напівпровідників, тонких плівок і новітніх матеріалів. Можливе повне картування підкладок до 200 мм. Версія X'Pert3 має найдовший час підйому компонентів падаючого променя (CRISP) і максимальний час безвідмовної роботи завдяки пневматичним затворам і атенюаторам променя.
Полегшуючи аналіз підкладок діаметром до 300 мм, завдяки складному автоматичному завантажувачу підкладок, X'Pert³ MRD XL стає передовим інструментом для контролю якості промислових тонкошарових структур.
X'Pert³ Extended MRD (XL)
X'Pert³ Extended MRD (XL) підвищує універсальність лінійки систем X'Pert³ MRD. Додаткова монтажна платформа PreFIX дозволяє встановлювати рентгенівське дзеркало і монохроматор з високою роздільною здатністю в лінію, значно збільшуючи інтенсивність падаючого променя.
Завдяки концепції PreFIX можна отримати вигоду від підвищеної універсальності застосування без шкоди для якості даних, рентгенівської дифракції високої роздільної здатності з високою інтенсивністю, скорочення часу вимірювання для таких вимірювань, як взаємне картографування простору, а також перебудовуватися зі стандартної на розширену конфігурацію за лічені хвилини. З PreFIX 2-го покоління реконфігурація є простою, а позиціонування оптики є більш точним, ніж будь-коли.
X'Pert³ MRD (XL) In-plane
Система X'Pert³ MRD (XL) для плоскої дифракції дозволяє вимірювати дифракцію від площин кристалічної решітки, які перпендикулярні до поверхні зразка.
Геометрія стандартної і плоскої дифракції в одній системі і широкий спектр дифракційних експериментів на полікристалічних і дуже досконалих тонких плівках - це лише дві з багатьох переваг.
Smart Manager
Розкрийте потенціал ваших даних
До цього часу дані приладів занадто часто застрягали в ручних записах, електронних таблицях або на локальних серверах. Підключивши X'Pert3 MRD до Smart Manager і постійно аналізуючи дані приладу в хмарі, ви зможете повністю розкрити його потенціал. Це лише одне з наших цифрових рішень, які є частиною Smart Manager від Malvern Panalytical.
Технічна характеристика
| Корпус |
X'Pert³ MRD |
X'Pert³ MRD XL |
| Розміри |
1370 (ш) x 1131 (г) x 1947 (в) мм
Система на колесах для легкого встановлення та переміщення |
1370 (ш) x 1131 (г) x 1972 (в) мм
Система на колесах для легкого встановлення та переміщення |
| Вага |
1150 кг |
1150 кг |
| Регламент |
Відповідає всім відповідним світовим нормам електричної, механічної та рентгенівської безпеки з усіма типами анодів |
Відповідає всім відповідним світовим нормам електричної, механічної та рентгенівської безпеки з усіма типами анодів |
| Гоніометр |
|
|
| Тип |
Горизонтальний гоніометр |
Горизонтальний гоніометр |
| Радіус |
320 мм |
420 мм |
| Максимальний діапазон використання |
-40°< 2θ <160° (залежно від аксесуарів) |
-40°< 2θ <160° (залежно від аксесуарів) |
| Енкодери |
Система прямого оптичного кодування для високої точності гоніометра протягом усього терміну служби з використанням точно вивірених енкодерів Heidenhain |
Система прямого оптичного кодування для високої точності гоніометра протягом усього терміну служби з використанням точно вивірених енкодерів Heidenhain |
| Точність на дальніх дистанціях |
±0.0025° |
±0.0025° |
| Точність у малому діапазоні (0,5°) |
±0.0004° |
±0.0004° |
| Точність відтворення кута нахилу |
< 0.0002° |
< 0.0002° |
| Джерело рентгенівського випромінювання / Детектори / Етапи |
|
|
| Примітки |
- Повністю керамічні рентгенівські трубки виробляються на спеціалізованому заводі Malvern Panalytical в умовах чистого приміщення
- Заміна лінійного фокуса на точковий без використання інструментів
- Генератор потужністю 3 кВт, що підтримує всі наявні та майбутні рентгенівські трубки
- Гібридні піксельні детектори з найменшим розміром пікселя (55 x 55 мкм2), доступним на ринку
- 5-осьова люлька з можливістю переміщення по осях x, y 100 x 100 мм2
|
- Повністю керамічні рентгенівські трубки виробляються на спеціалізованому заводі Malvern Panalytical в умовах чистого приміщення
- Заміна лінійного фокуса на точковий без використання інструментів
- Генератор потужністю 3 кВт, що підтримує всі наявні та майбутні рентгенівські трубки
- Гібридні піксельні детектори з найменшим розміром пікселя (55 x 55 мкм2), доступним на ринку
- 5-осьова люлька з можливістю переміщення по осях x, y 100 x 100 мм2
|
| Обертання Chi |
±92° |
±92° |
| Обертання Phi |
2 x 360° |
2 x 360° |
| Найменший розмір приросту |
0.0001° |
0.0001° |
Аксесуари
Детектор PIXcel3D
Перший детектор для отримання 0D-1D-2D і 3D-даних у Вашому дифрактометрі
PIXcel3D - це унікальний 2D твердотільний гібридний піксельний детектор. Кожен піксель має розмір 55 мікрон x 55 мікрон, а матриця детектора - 256 x 256 пікселів. Детектор, який тепер базується на технології Medipix3, забезпечує неперевершене співвідношення сигнал/шум завдяки функції точкового розподілу в один піксель і декільком рівням енергетичної дискримінації.
Технологія Medipix3 забезпечує
- Збільшення діапазону енергій виявлення від Cr до Cu
- Покращену енергетичну роздільну здатність
- Збільшення діапазону лінійності
- Покращена ефективність виявлення
- Задокументовані (опубліковані) дослідження радіаційної твердості.
Технічна храктеристика
| Тип |
PIXcel3D детектор з Medipix3 |
| Розмір вікна |
14 мм x 14 мм
|
| Коефіцієнт корисної дії Cu Kα |
>95 % |
| 99% Діапазон лінійних відхилень |
0 - 6,5 x 109 cps - загальний
0 - 25 x 106 cps - колонка |
| Енергетична роздільна здатність навколо Cu Kα |
18% |
| Максимальна швидкість підрахунку |
30 x 109 cps - загальний
120 x 106 cps - колонка |
| Максимальний рівень фону |
<0.5 cps - загалом |
| Активна довжина |
14 мм |
| Мінімальний розмір кроку |
0,0016º 2θθ при радіусі гоніометра 240 мм |
| Підтримувані довжини хвиль |
Cu, Co, Fe, Mn, Cr |
| Функція точкового розсіювання (PSF) |
1 піксель (FWHM) |
| Дефектні пікселі |
< 1% |
|
