Рентгенофлуоресцентний аналізатор пластин 2830 ZT


Рентгенофлуоресцентний аналізатор пластин 2830 ZT

Передове рішення для аналізу тонких плівок напівпровідників

Рентгенофлуоресцентний аналізатор пластин 2830 ZT з дисперсією довжин хвиль (WDXRF) пропонує широкі можливості для вимірювання товщини і складу плівок.
Аналізатор пластин 2830 ZT був розроблений спеціально для галузі виробництва напівпровідникових пристроїв та зберігання даних. Цей аналізатор забезпечує визначення складу шарів, товщини, вмісту присадок і однорідності поверхні для різних типів пластин з розмірами до 300 мм. 

Область застосування рентгенофлуоресцентного аналізатора пластин 2830 ZT

Зручність роботи
ПЗ SuperQ включає безліч простих у використанні модулів, які призначені для гнучкого використання дослідниками та інженерами. Перехід з однієї прикладної програми на іншу не уявляє труднощів і параметри обладнання також можна налаштовувати з урахуванням переваг користувача. .

Функції рентгенофлуоресцентного аналізатора пластин 2830 ZT

Можливості безперебійної роботи та швидкість

У рентгенівській трубці SST-mAX потужністю 4 кВт застосовано передову технологію ZETA, що виключає ефект старіння рентгенівських трубок. Інтенсивність випромінювання трубки протягом усього терміну її служби залишається незмінною, а в поєднанні з високою чутливістю технологія ZETA гарантує підтримку високої швидкості аналізу та стабільність вимірювань протягом усього періоду експлуатації трубки. Технологія ZETA різко скорочує потребу в корекції дрейфу та повторному калібруванні, тим самим підвищуючи продуктивність та час безперебійної роботи приладу.

Максимальний час безперебійної роботи
У традиційних рентгенівських трубках відбувається випаровування вольфраму, у результаті виникають відкладення на внутрішній стороні бериллієвого вікна трубки. У приладах, які використовують такі рентгенівські трубки, потрібна регулярна корекція дрейфу. Її мета - компенсувати зниження інтенсивності, особливо легких елементів.
Використання трубки SST-mAX 2830 ZT вирішує цю проблему дрейфу, завдяки чому максимально збільшується час безперебійної роботи і зберігається незмінною точність приладу.

Простота використання
Прилад 2830 ZT оснащений вдосконаленим програмним забезпеченням SuperQ. До його складу входить FP Multi - програмний пакет, призначений спеціально для виконання аналізу багатошарових об'єктів. Інтерфейс програмного забезпечення дозволяє навіть недосвідченим операторам виконувати повністю автоматизований аналіз основних параметрів багатошарових зразків.
Програмне забезпечення SuperQ має широкий набір простих у використанні модулів для зручної роботи дослідників та інженерів. Перехід з однієї прикладної програми на іншу не уявляє труднощів і параметри обладнання також можна налаштовувати з урахуванням переваг користувача.

FALMO-2G
FALMO-2G легко інтегрується в інфраструктуру будь-якої лабораторії або виробництва: від простого завантаження вручну до повної автоматизації. Винятково гнучка конструкція дозволяє керівнику виробництва вибирати порт завантаження FOUP, SMIF або порт для відкритих касет, при цьому можливі конфігурації з одним або двома завантажувальними портами. Програмне забезпечення, що відповідає вимогам GEM300, підтримує різноманітні конфігурації FALMO-2G. Горизонтальні розміри FALMO-2G мінімізовані, але без шкоди для гнучкості та функціональності.

 

 Завантаження-вивантаження зразка

   Рентгенівська трубка 

  Канали

  Встановлення

Пластини 100-300 мм шляхом прямого завантаження; для роботи
з невеликими розмірами можна використовувати
спеціальні перехідники

 SST-mAX75, конічна носова частина,
трубка з торцевим вікном, SST-mAX50
(опція)

 

 

  До 24 фіксованих каналів

 

 

Відповідність SEMI S2/S8

 FOUP, SMIF, відкрита касета та завантаження
вручну (опції)

  Область виміру 40 і 10 мм; можливо
використання інших розмірів

 

  Макс. 2 гоніометра

Повна відповідніть SECS/GEM
Продуктивність до 25 пластин на годину
  Технологія Zeta

  Високоефективний борний канал для
максимальної чутливості та продуктивності

 
   

  Спеціальні високоефективні канали для високої
чутливості та продуктивності для B, C, N, O, F, Mg,
Wsix, TiSix, CoSix

 
    Негорючий аргон/метан
 
    Проточний лічильник  
    Герметичний лічильник
 
    Сканер 10º...100º 2θ
 
    Сцинтилятор із берилієвим вікном 300 мкм
 

 

Новини

Новий планетарний кульовий млин PM 300
Вібраційний кульовий млин MM 400 Retsch
Компанія Макролаб ЛТД пропонує нову революційну систему прискореного мікрохвильового розкладання (кислотної мінералізації) BLADE™

Наш адрес

ООО "МАКРОЛАБ ЛТД "
тел.  +38-044-258-34-01
факс +38-044-258-34-02
моб.  +38-050-386-57-70       
         +38-067-537-32-57
e-mail: info@macrolab.com.ua
           www.macrolab.com.ua 

 
 
головна | каталог | сервіс | новини | про компанію | наші партнери | контакти
© 2007 Macrolab. Development by Freesia 2007.